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G3B-1 [Invited]
09:00-09:20
Strategies for enhancing near- and mid-infrared transmittance of transparent and plasma-resistant Y2O3-MgO nanocomposites for semiconductor manufacturing
*마호진1, 김도경2, 김하늘1, 김미주1, 고재웅1, 이재욱1, 박영조1
1한국재료연구원, 2한국과학기술원
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불소계 염을 통한 Y2O3 내플라즈마 표면개질 특성 평가
장환윤1, *이현권1
1국립금오공과대학교
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Study on Growth Mechanism of Ceramic Coatings with PEO for Electrostatic Chucks
KANG Won-Kyung1, JUNG Dong-Il1, *CHOI Hyun-Ju1
1Korea Automotive Technology Institute
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플라즈마 에칭된 Al2O3, Y2O3, YAG 세라믹의 미세조직 비교
*이재욱1, 김은비1, 김미주1, 마호진1, 김하늘1, 고재웅1, 박영조1
1한국재료연구원
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서스펜션 진공 플라즈마 공정을 활용한 내플라즈마 코팅 연구
강용진1, 김도현1, 이성훈1, *변응선1
1한국재료연구원
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Coupled thermodynamic modeling and experimental phase diagram study of the ZrO2/HfO2-B2O3-SiO2 system for the aerospace coating application
박승재1, 박준동1, 박민수2, *정인호1
1서울대학교, 2한국항공대학교
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Mechanical and thermal expansion properties screening design of metal-matrix high-entropy carbide composites for extreme environments: Multi-scale simulation approach
KIM Myungjae1, *KIM Jiwoong1
1Soongsil University
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기공 수축 중 곡률 역전 발생 조건을 고려한 수축 구동력 평가
백용균1, *오경식1
1국립안동대학교
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Critical plasma spray parameter(CPSP)에 따른 MgAl2O4 비행입자 거동과 코팅 특성 간 상관관계
권한솔1, 박영진1, 김도현1, 강용진1, 유연우1, *박훈관1
1한국재료연구원
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데이터 기반 세라믹 소재 플라즈마 저항성 평가 및 CF4 혼합 플라즈마 반응 특성 분석
장성규1, 최가인1, 전준혁1,2, 김선길1, 김현미1, 김슬기1, *김형근1, *이우성1
1한국전자기술연구원, 2성균관대학교
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Fabrication of functionally graded multi-ceramic structure using digital light processing (DLP) 3D printing technique and passive in-line mixing
KIM Gyu-Nam1, JUNG Jae-Min1, JEON Jong-Won1, CHOE Gyu-Bin1, PARK Jae-hyung1, *KOH Young-Hag1
1Korea University
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Corrosion Resistance of Fe- and Ni-based Alloys for Molten Salt Reactors According to Cr and Mo Contents
김수형1, *윤영수1
1가천대학교